ターゲット材

弊社では各種ターゲット材の販売と共に消耗した使用済ターゲットの再生加工受託、又使用済みで不要となったスクラップターゲット材からの有価金属の回収など幅広く顧客ニーズに対応可能です。

是非一度お引き合い下さい。

ターゲット材の販売

  • 1)品種
    • Al、Ti、Ta、W、Ni、Si、ITO、AZO、ZnO、Cu、Au、Pt、Ag、Cr 等
  • 2)寸法
    • 例)Agターゲット:10t×250W×1500L
    • その他の品種につきましてはお問い合わせください。

ターゲット材の見本

1)メタルターゲット

Ag A15N Cr
Ag A15N Cr
Cu Tungsten Ti
Cu Tungsten Ti
Ta Si Al-Nb
Ta Si Al-Nd
Mo-Nb Nb-Zr Ni-Cr
Mo-Nb Nb-Zr Ni-Cr

2)酸化物ターゲット

SiO2 Nb2O5 ITO
SiO2 Nb2O5 ITO
AZO SiC
AZO SiC